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　　实验室高纯供气系统作用及管路设计安装

　　实验室供气系统

　　实验室供气系统虽然投资份额相对较小，但对实验环境的安全性有重要影响。

　　1、气瓶必须采取专业通风、防爆措施;

　　2.气路系统应配备泄漏报警、紧急切断和强排风等。

　　3.为了保证气体的纯度和气压的稳定性，必须进行多级减压供气，并提供气路吹扫和排空等设施。气体泄漏检测方法

　　实验室供气系统作用

　　满足不同实验的要求和安全性。采用汇流排供气设备对双瓶进行手动、半自动和全自动切换功能，配有低压报警装置实时监控气体压力、浓度检测报警和排气，确保客户正常用气和生命财产安全。

　　高纯气体管道设计要点

　　1.对于具有不同特性的气体，应规划单独的供应区域，通常分为三个区域:腐蚀性/毒性气体区域、易燃性气体区域和惰性气体区域。应集中和加强对气体具有相同特点的管理。易燃性气体区域应特别规划防爆墙和泄漏口。如果空间不足，可以考虑惰性气体区域和有毒/腐蚀性气体区域。

　　2.管道设计需要考虑输送距离。距离越长，成本越高，风险也越高。一般来说，更合理的设计流量为20毫升/秒，可燃性气体小于10毫升/秒，毒性/腐蚀性气体小于8毫升/秒。在剂量设计方面，需要考虑使用点的压力和管径。前者与气体特性有关，而后者使用时的管径一般为1/4 "~ 3/8 "。

　　3.根据用气设备的分布情况，高纯度气体管网不应过大或过长;建议采用未封闭的环形管道，并在系统末端连续排放少量气体以便高纯度气体始终在管网中循环，不会出现“死区”造成的高纯度气体污染。

　　4.管道中不流动的“死区”气体应减少。不应提供盲管。应在专用气体储气瓶和气体设备之间设置吹扫控制装置、多阀控制装置、各阀的开关顺序和系统吹扫，以确保供气系统的安全可靠运行，并防止形成“死区”以保留污染物并降低气体的纯度。

　　5.对于对高纯度气体纯度有不同要求的用气设备，应采用分级高纯度气体输送系统。也可以使用相同等级的输送系统，但是在具有高纯度要求的气体设备附近设置了终端气体净化装置。

　　6.为了检测高纯度的纯度和杂质含量气体，输送系统应配备必要的连续检测仪器，如测量水含量或氧杂质含量的分析仪，还应配备定期取样的检测取样口，以便按规定时间取样，并分析高纯度的各种杂质含量气体。

　　7.在亚微米集成电路生产中，需要提供10-9级高纯度气体。为了确保终端气体处理设备中气体的纯度，并将气体中的杂质含量(包括灰尘颗粒)控制在规定值内，通常在设备前面安装终端净化装置或终端高精度气体过滤器。

　　实验室高纯气路的安装要求

　　1.所有气体管道由高质量、完全退火的无缝不锈钢管(BA级)组成。铜管仅用于气体管道末端，对气体的纯度要求不太严格。(例如通风橱)。

　　2、气体安装管道不得敷设电缆和导线。

　　3.易燃气体，如乙炔需要与其他气体分开引入。如果氢气管道与其他可燃气体管道平行敷设，其间距不得小于0.5M交叉敷设时间间隔不小于0.25米，分层敷设时氢气管道应位于上方。

　　4.压缩空气有净化装置，用于过滤管道上的杂质和水分。净化装置需要并联连接，并通过单独的阀门分开，以便于过滤装置的维护。

　　5.高纯度气体管道的连接采用无缝焊接。接头配件只能在连接到阀门或调节装置时使用。

　　6、每个实验室应有单独的控制阀、减压阀和压力表。

　　7.通向工作台的气体管道应安装单独的控制阀。各种气体控制阀应均匀排放在工作台上。建议在氦气管道前安装气体净化装置。

　　8.每1.5m左右，气体管道需要支撑。此外，根据气体管道的弯曲半径，设置适当的支架位置。必须支持所有弯曲。气体管道安装管道的所有支架均应镀锌防腐处理。