大宗特气系统(BSGS)设计

　　大宗特气系统(BSGS)是电子工业控制气体纯度的新方法，在控制纯度的同时也提高了供气安全。大宗特气系统(BSGS)设计有很多注意的地方，这里介绍一些。

　　引言：

　　随着电子消费品的升级换代，产品制造尺寸越来越大，产品成品率和缺陷控制越来越严格，整个电子工业界对电子气体气源纯度，以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标，直接与分析仪器技术进步带来的zui低检测极限(LDL)相关联。如传统的激光颗粒测试仪可测到0.1微米，而核凝结技术(CNC)可达到0.01微米。由此带来的影响便是大宗气体的纯度要求也越来越高，从气源端直接控制是zui好的方法。

　　关键词：

　　大宗气体，储存，系统设计

　　大宗特气系统(BSGS)设计参考

　　1、应该设置独立的气(液)瓶、储罐或长管拖车及其压力指示或钢瓶称重装置、链接回形管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单元、电气控制柜等装置;

　　2、大宗特种气体系统的功能配备应该和特气系统管路一致;

　　3、液态气瓶的大宗特种气体系统应设计钢瓶加热与保温装置;

　　4、大宗特种气体应在减压前对气体进行预热。

　　结语：

　　大宗特气系统(BSGS)的应用受益于污染控制的进步。首先大包装容器保证了气体品格的连续性，降低了屡次充装的污染风险，其次在气站建设时候做好每个独立单元模块的功能架构，使得大宗气体也可以保持最高的纯度。另外，液态气体使用前的预热、电子秤等的加入也是需要综合考虑的因素。